行业资讯

深入剖析电子级硫酸的“用武之地”!

时间:2020-09-08 浏览:84次
分享:


  

  众所周知,电子级硫酸又称高纯硫酸、超纯硫酸,属于超净高纯试剂,是一种微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础化学试剂。目前广泛应用于大规模集成电路(IC)、半导体等微电子工业,用作清洗和蚀刻剂.随着中国微电子工业的高速发展,电子级硫酸的需求量日益增加,供不应求,电子级硫酸有着良好的应用前景.那么具体电子级硫酸的用途或者说用武之地到底在哪里呢?

电子级硫酸

  电子级硫酸主要应用于电子硅晶片生产过程的清洗和蚀刻。

  硅圆片在加工过程中,常常会被不同的杂质所沾污,可引起大规模集成电路产率下降50%左右。硅圆片上不溶性固体颗粒或金属离子可能在微细电路之间导电,使之短路,几个金属离子或灰尘足以使线宽较小的大规模集成电路报废。

电子级硫酸

  Na、Ca等碱金属杂质会融进氧化膜中,导致耐绝缘电压下降。当硅圆片表面附着有Cu、Fe、Cr、Ag等重金属杂质时,会使P—N结耐电压降低,影响大规模集成电路电性能。硼、磷、砷等杂质离子会影响扩散剂的扩散效果,尘埃颗粒会造成光刻缺陷,氧化层不平整,影响制版质量和等离子蚀刻工艺。

电子级硫酸

  为了获得高质量、高产率的集成电路芯片,必须除去各种沾污物,这就需要使用非常纯净的化学试剂来清洗硅圆片,硫酸和过氧化氢按比例组成有强氧化性的SPM清洗液,在120~150℃下对硅片进行清洗时,可将金属氧化后溶于溶液中,并能把有机物氧化成CO2和H2O。它还可用于光刻过程中的湿法蚀刻去胶,借助于化学反应从硅圆片的表面除去固体物质,导致固体表面全部或局部溶解。

电子级硫酸

  当下,电子级硫酸的核心技术主要还是被欧美等发达国家所左右,譬如,德国,日本,美国等国家,而且,这样的关键核心技术相关文献记载和报道又少之又少。能够拿下电子级硫酸生产项目的企业更是凤毛麟角,安阳市岷山环能高科有限公司作为一家高科技企业,有义务也有责任将国内的电子级硫酸生产发展壮大,作为集成电路制造业、封装测试业以及整机装配业原料供应的上***业,高规格的电子级硫酸供不应求,安阳岷山环能高科有限公司应充分关注这一趋势,加强对电子级硫酸生产工艺技术的研究,适当引进国外的工艺和装置,早日生产出高规格、高附加值的产品,抢占国内外电子级硫酸市场,促进中国电子级硫酸工业的发展!http://www.aymsys.com/

  


版权所有:安阳岷山环能高科有限公司   豫ICP备18031051号-1
提问题 看产品 看实力 回顶部