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什么是电子级硫酸?生产步骤是什么?

时间:2020-11-21 浏览:933次
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  电子级硫酸在电子信息工业化发展的道路上显得格外重要,目前电子产业,半导体行业,超大规模集成电路行业等需要用到大量的电子级硫酸,除此之外,硅晶片的清洗和蚀刻也会用到电子级硫酸,因为它可以有效的去除晶片上的杂志颗粒,无机残留物和碳沉积物等等。所以说,电子级硫酸的市场非常广泛。正是因为电子级硫酸应用广泛,所以很多时候会出现供不应求的状态,如何快速的生产电子级硫酸成为我们急需考虑的问题,

  那么生产电子级硫酸的步骤大概是怎样的呢?

  1.先将工业级的国标硫酸进入预处理槽内进行氧化处理,得到硫酸和二氧化碳。

  2.氧化后的硫酸再放入反应釜

  3.对反应釜的硫酸进行加热处理,进行一次蒸馏,分析出纯硫酸。

  4.分析出的纯硫酸再放入精馏塔进行二次分馏,得到前馏分和后馏分

  5.前馏分进入冷凝器内,后馏分进入到反应釜底

  6.经过冷凝器冷凝形成硫酸溶液,进入储罐储存

  7.储罐内的硫酸溶液经过超滤去除颗粒后,然后在超净工作台内分装成品。

  国内电子级化学品行业分4个等级的行业标准,分别是EL、UP、UP-S、UP-SS级别。

  EL级金属杂质含量小于100PPB,控制1微米粒径粒子,达到SEMIC1,C2标准,适合中小规模集成电路及电子元器件加工工艺。

  UP级:适用于1微米集成电路及TFT-LCD制造工艺,金属杂质含量小于10ppb,达到SEMIC7标准。

  UP-S级:适用于0.35-0.8微米集成电路加工工艺,金属杂质含量小于1ppb,达到SEMIC8标准。

  UP-SS级:适用于0.09-0.2微米集成电路加工工艺,金属杂质含量小于0.1ppb,达到SEMIC12标准。

  目前岷山环能电子级硫酸设计UP-S级别,目标UP-SS级!更多有关电子级硫酸相关敬请关注:http://www.aymsys.com/

  


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