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电子级硫酸概述

时间:2020-12-09 浏览:935次
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  电子级硫酸又称高纯硫酸、超纯硫酸,属于超净高纯试剂,是一种微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础化学试剂。

  电子级硫酸广泛应用于半导体、超大规模集成电路的装配和加工过程,主要用于硅晶片的清洗和蚀刻,可有效除去晶片上的杂质颗粒、无机残留物和碳沉积物。

  电子级硫酸的纯度和洁净度对电子元件的成品率、电性能及可靠性有着重要的影响。


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