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提高中国电子级硫酸技术的策略

时间:2021-01-19 浏览:792次
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  电子化学品与下 ***业结合紧密,下 ***业的快速发展,势必要求电子化学品更新换代速度不断加快,企业科技研发水平与日俱增,电子化学品素有“一代材料、一代产品”之说,湿电子化学品更是如此。所以,湿电子化学品技术水平需要与下 游电子行业的发展趋势保持一致。

  随着大规模集成电路存储容量的逐渐增大,存储器电池的蓄电量需要尽可能大,氧化膜变得更薄,而超净高纯试剂中的碱金属杂质会溶进氧化膜,导致耐绝缘电压下降;若重金属杂质附着在晶硅片的表面上,会使p-n结耐电压降低。杂质分子或离子的附着又是造成腐蚀或漏电等化学故障的主要原因。因此,随着大规模集成电路技术水平的发展,对湿电子化学品的质量要求也越来越高。

  从技术趋势上看,满足纳米级集成电路制造和高世代平板显示生产的技术需

  求和功能性需求是超净高纯试剂今后发展方向之一。

  目前,国外主要采用气体吸收法来生产电子级硫酸,该法适合大规模工业化生产,杂质去除率高,产品质量稳定,能耗低,能充分满足半导体工业的需求。

  中国一些企业经过技术攻关,对气体吸收法进行改进,成功生产出超纯硫酸,产品质量达到了SEM大规模集成电路12标准。


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