在之前，我们对电子级硫酸也做过简单讲解，一种高纯硫酸、超纯硫酸，属于超净高纯试剂，是一种微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础化学试剂。安阳岷山环能高科主要研发生产电子级硫酸！ 

近几年，电子级硫酸的发展可谓是如日中天，需求量也是供不应求，一来是国内能够提供电子级硫酸的企业少之甚少，再者，电子级硫酸对其生产工艺要求相当严苛，下面，我们请岷山环能高科来为大家介绍这巧夺天工的电子级硫酸生产工艺！

　　（一）精馏法

　　精馏是利用回流使液体混合物得到高纯度分离的蒸馏方法。工业硫酸一般是微黄色黏稠液体，内含大量金属杂质离子和二氧化硫、亚硫酸根等。工业硫酸在精馏提纯前需进行化学预处理，即在预处理槽中加入适量强氧化剂（高锰酸钾、重铬酸钾等），使硫酸中的还原性杂质氧化成硫酸和二氧化碳，再将处理后的硫酸加入石英精馏塔内进行精馏。

由于金属杂质离子主要以硫酸盐的形式存在，硫酸盐的沸点很高，在精馏的过程中会和蒸馏残液一起留在釜底，可以很容易地被除去。待精馏速度稳定后，收集成品在储罐内，再用微孔滤膜过滤，除去微细固体颗粒杂质，然后在超净工作台内分装成品，包装瓶需在超净条件下清洗，检测合格后方可使用。

　　（二）气体吸收法

气体吸收法是将提纯后的三氧化硫直接用超纯水或者超纯硫酸吸收，三氧化硫的提纯是产品达标的关键。首先，向发烟硫酸（硫酸的质量分数为24%～70%）中添加适量的过氧化氢溶液，使其中的二氧化硫（含量应低于10mg/kg）氧化为三氧化硫，随后将发烟硫酸加入到降膜蒸发器中，在90～130℃蒸发，蒸发出来的三氧化硫气体经过除雾器，除去其中夹带的微量硫酸、亚硝酰基硫酸，通入高度纯化的惰性气体，混合后进入吸收塔用电子级超纯水或超纯硫酸直接吸收，冷却后即得到超纯硫酸产品。如果产品达不到所要求的颗粒含量标准，可在进入吸收塔前进行1～3阶段过滤（滤膜孔径为0.1～1μm）。成品的超纯硫酸由特殊设计的管道送入氟聚合物衬里的储槽中，吸收过程产生的热量由特制管束式换热器收集。

　　（三）离子色谱法

　　随着大规模集成电路技术向亚微米及深亚微米方向的发展，电子级硫酸的纯度越来越高，大规模集成电路P-MS法将取代传统无机分析技术，成为金属杂质分析测试的主要手段。非金属杂质的分析测试主要指阴离子的测试，较为常用的方法是离子色谱法。

离子色谱法是一种用电导检测器对阳离子和阴离子混合物作常量和痕量分析的色谱法，分析时在分离柱后串接一根抑制柱，来抑制流动相中的电解质的背景电导率，采用电导检测器测定电子级硫酸中的Cl-、NO3-、PO43-等。 

目前，安阳岷山环能高科有限公司主要采用气体吸收法来生产电子级硫酸，该法适合大规模工业化生产，杂质去除率高，产品质量稳定，能耗低，能充分满足半导体工业的需求。 

　　综上，便是岷山环能高科为大家分析的一些电子级硫酸的主要生产工艺，更多有关电子级硫酸相关信息欢迎关注安阳岷山环能高科官网：http://www.aymsys.com/