电子级硫酸属于强腐蚀的危险品,包装后的产品在运输及使用过程中不能泄漏。在贮存的有效期内包装容器必须耐腐蚀,杂质溶出要低,内表面颗粒脱落要少,不能引入二次污染而降低产品质量。此外,对于超大规模集成电路生产线,小包装试剂无法满足生产需求,包装容器需要向大包装方向发展,这些都对包装技术提出了很高的要求。
目前,包装容器材料一般使用高密度聚乙烯(HDPE)、四氟乙烯和氟烷基乙烯基醚共聚物(PFA)、聚四氟乙烯(PTFE)和硬质硼硅玻璃。其中HDPE稳定性较好,易于加工,并具有适当的强度,因此HDPE可以在室温下存放浓硫酸,但是温度升高后浓硫酸会浸蚀HDPE而生成衍生物导致“酸暗”。
对于使用周期较长的管线、贮罐、周转罐、高温反应器等,可采用PFA或PTFE材料做内衬,设备和管道内衬的PTFE厚度为1~6mm,内衬材料在生产成型过程中的环境要洁净,且不能添加对电子级硫酸有污染的助剂。