电子级硫酸产量不足G4和G5等级依赖进口
电子级硫酸http://www.aymsys.com/product,又称高纯度硫酸和超纯度硫酸,是微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础化学试剂,是半导体行业常用的八种化学试剂之一。电子级硫酸广泛应用于半导体和大型集成电路的组装和加工过程中,主要用于硅晶片的清洗和腐蚀,能有效去除晶片上的杂质颗粒、无机残留物和碳沉积物。
电子级硫酸根据超纯高纯试剂SEMI国际标准等级可分为G1、G2、G3、G4、G5五类,其中,G1属于低档产品,G2属中低档产品,G3属于中高档产品,G4和G5属高档产品,G2、G3、G4、G5四个等级对应国内产品的纯度等级UP、UP-S、UP-SS、UP-SSS。
近年来,随着我国半导体产业的兴起和国产化率的不断提高,上下游产业链布局的完善迫切需要,对电子硫酸的需求呈现出快速增长的趋势。根据新思界产业研究中心发布的信息《2020-20242019年,中国电子硫酸产业市场供需现状及发展趋势预测报告分别为6.93万吨、11.73一万吨。国产电子硫酸的产量和质量仍不能完全满足市场需求,需要进口一定规模的产品。
现阶段,全球电子级硫酸重点企业有BASF巴斯夫、联仕电子化学材料有限公司MitsubishiChemical三菱化学有限公司Avantor、KantoChemical日本关东化学,Chemtrade等等。我国电子硫酸生产技术相对落后,电子硫酸生产能力较少,现有企业一般较小,生产企业主要包括江阴润玛电子材料有限公司、浙江凯盛氟化工有限公司、江阴江微电子材料有限公司等。
此外,苏州晶瑞化工有限公司依托江苏阳恒原有的优质工业硫酸为原料,与日本三菱化工有限公司合作建设的年产9万吨电子硫酸项目,全球半导体化学品主要供应商,已进入2019年的建设期。公司在半导体材料中布局的高纯过氧化氢、高纯氨和在建的高纯硫酸产品质量已达到或可达到SEMI高等级G5水准,金属杂质含量均低于10ppt,预计2020年高纯硫酸产品投产后。
新思界行业研究员表示,总体而言,虽然近年来国内电子硫酸产能迅速扩张,但由于生产时间短,短期内仍存在产量不足的问题,现有产能多为低、中、高G1、G2、G3等级产能为主,而且G4和G5特别是高端产品产能低G5等级产品,目前国内量产企业极少,依赖进口。而未来下游半导体市场对电子级硫酸产品需求标准将会不断提高,G5电子级硫酸市场缺口大,产品附加值高,发展前景看好。
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